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激光干涉儀品牌,激光干涉仪报价,激光干涉仪原理,激光干涉仪运用,激光干涉仪试测,激光干涉仪厂家,激光干涉仪具有測量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点,结合不同的光学镜组,可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。
激光干涉儀系統具有豐富的模塊化組件,可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列,依次为線性鏡組、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。其中,線性鏡組爲標配,由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析,以及反向间隙修正和螺距补偿。